大日本印刷(=DNP、北島義俊社長)は、微小電子機械システム(MEMS: Micro Electro Mechanical Systems)の技術を応用したマイクロ流路チップのラインナップを追加し、低価格で提供する。このマイクロ流路チップは、半導体で使われるシリコン材料を用いて基材上に微細な流路パターンを形成したもので、大学・研究機関、医療機器メーカー、製薬会社、電機メーカー向けに、バイオMEMSの試作・量産サービスを積極的に展開していく。 DNPは、2001年に半導体用高精度フォトマスク製造で培った超微細加工技術やシリコンの深掘り技術を活用して、MEMSの試作サービスを開始した。2007年には千葉県柏市に6インチ、8インチウェハー対応のMEMS専用量産開発ラインを完成させ、設計・試作から量産まで一貫したサービスを提供している。DNPは自社製品を持たない国内唯一のMEMSファウンドリであり、中立性を保っていることを大きな強みとしてMEMS事業を推進している。 今回のマイクロ流路チップはバイオMEMSのひとつであり、バイオや医療、創薬などの研究ツールとして注目されている。 DNPは、2007年に東京大学の竹内昌治准教授の研究グループと、無機材料であるシリコンとガラスを用いたマイクロ流路チップを共同開発している。その後もさまざまな条件下での実験を行い、マイクロ流路チップの性能・適用範囲を確認すると同時に、新たな機能を持ったチップの設計・開発に取り組んできた。今回、1枚の8インチウェハー上に、くぼみにトラップした10000個までの微粒子を一個レベルで取り出し、または全数一括取り出しが可能なチップ、マイクロメートルサイズの水/油の均一な微粒子を形成できるチップ、微小液滴を生成して液滴を一個レベルで取り出せるチップなど、計4種類のマイクロ流路パターンを設計・開発し、ラインナップに追加した。これらは細胞・タンパク質などの機能解析や医療用薬品、化学薬品の開発、製造に応用することが可能。 また、チップの製造には、半導体製造で用いられる局所クリーン化技術を採用することで、大きなサイズのチップにおいても高い歩留りでのチップ製造を実現した。これにより従来に比べて低価格でチップを提供できるようになった。
【共同開発したマイクロ流路チップの特長】 無機材料であるガラス/シリコン/ガラスの3層構造であり、DNPが得意とするシリコン深掘り技術により中間のシリコン層を貫通エッチングして流路を形成しているため、透過観察が可能。 バイオMEMS作成でよく使用されるポリジメチルシロキサンなどの有機材料の代わりに、硬度の高いシリコンを基材に使用しているため、サンプル溶液の流速を上げたときに生じる圧力による変形がなく、短時間での分析・解析が可能。耐熱性も高く、また試薬など有機溶剤による基材の膨張や腐食もない。 8インチウェハー(従来のウェハーは4インチまたは6インチサイズ)で試作しているため、1枚のウェハーからとれるチップ数が多く、量産の際には低コスト化が可能。また、50ミリ×100ミリの大型チップの製作も可能。 【価格】 基本デザインのサンプルで、マイクロ流路チップ1枚3000円(税込)。新規設計、保証などのオプション費などは別途となる。 尚、7月30日から8月1日まで東京ビッグサイトにて開催される「第19回マイクロマシン/MEMS展」のDNPブースに、新ラインナップのマイクロ流路チップを展示する予定。
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